EHDJet-S工业级电流体喷雾制膜装备
产品描述
EHDJet系列电流体动力印刷设备,源自华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室的高分辨率电流体喷印原创技术,荣获国际日内瓦发明展金奖、湖北省技术发明一等奖、湖北省自然科学一等奖等,利用电流体动力学原理(EHD),配置高速视觉系统、高精度多自由度运动平台、精密供墨系统等功能模块,适用1-10000cPs粘度的有机/无机墨水,集成按需点喷、纺丝直写、雾化制膜三种打印模式,支持矢量图、位图等图形输入,高精度制备微纳级点/点阵、线/曲线、薄膜结构等复杂微纳图案,在众多领域如柔性电子器件、柔性触摸屏、柔性体征贴片、太阳能薄膜电池、柔性传感器,生物支架、组织工程、有机发光二极管、生物传感器等领域有巨大潜力,并获得广泛应用,是柔性印刷的首选。
EHDJet-S型电流体喷雾制膜技术,通过高压电场引导高速射流尖端突破瑞利极限,多次炸裂产生fL级雾滴,可沉积≥50nm厚均匀致密薄膜,相比旋涂、刮涂2D制膜,EHDJet-S可以制备3D及镂空结构微纳级薄膜,是微电子、半导体、能源电池、生物医药等专用装备之一。
采用EHDJet-S型电流体喷雾制膜效果:3D薄膜(3~50μm)/均匀/效率高/良率高
主要参数说明:
▶原创电流体喷雾工艺与自主专利技术
▶适应材料粘度:≤500cP
▶电流体喷雾液滴:fL级
▶最小制造薄膜膜厚:50nm
▶打印幅面:单次幅面0.1m(可定制)
▶集成多喷头:≥10个(可定制)
▶适用材料体系:光刻胶、钙钛矿、纳米材料、聚合物单体等有机/无机墨水
▶应用领域:光刻、显示、太阳能电池、燃料电池、薄膜封装、医药等
技术对比 | 电流体喷雾 | 超声喷雾 |
喷胶粘度 | ≤500cP | ≤100cP |
雾滴体积 | fL级 | pL级 |
制膜厚度 | ~50nm | ≥10μm |
薄膜质量 | 均匀致密 | 液滴大、凹坑 |
制造效率 | 多喷头、大面积 | 单喷头、效率低 |
材料利用率 | ≥60% 雾滴聚焦 | <30% 雾滴分散 |